1、部分源于炎帝的姜姓，部分出自春秋时期齐文公十八世孙高柴，据《通志》载：“柴氏，姜姓。齐文公子高之后。高氏傒，以王父字为氏。十世孙高柴，仲尼弟子。柴孙举，又以王父字为柴氏。汉有棘蒲侯柴武。裔孙守礼。五代后周周太祖无子，以守礼子荣为嗣，是为周世宗。”《姓考》载：“齐大夫高张食采于柴，因氏。”又《千家姓》载：“平阳郡。”焦作柴氏为明初平阳郡洪洞柴家垣(庄)移民。
2、源于鲜卑族和氐族、羌族等，出自东汉时期鲜卑吐谷浑部，属于文化上汉化改姓为氏。东汉初期的鲜卑吐谷浑部，汉史中亦称阿柴虏、赀虏。
3、源于蒙古族，属于文化上汉化改姓为氏。
4、源于满族，属于文化上汉化改姓为氏。据典籍《清朝通志·氏族略·满洲八旗姓》记载：满族赛密哷氏，亦称塞蒲里氏，源出金国时期女真白号姓氏，以姓为氏，满语拼音为saimirehala，是满族最古老姓氏之一，为满洲巨族，人口众多，世居萨哈尔察(今黑龙江北岸布列亚河流域)、齐齐哈尔、长白山区和黑龙江沿岸等地，后多改汉字姓为柴氏、赛氏等。随后达斡尔人中也出现柴姓。5、柴姓在全国分布较广，尤以河南、山西、河北多此姓，柴姓是当今中国姓氏排行第一百二十七位的姓氏，人口较多，如今柴姓人口一百三十五万多人，约占全国汉族人口的百分之零点一。